苏州库凌智能装备有限公司

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帕尔贴温控器
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应用场景

通过直接冷却、加热化学液进行温度控制,适用于控温精度要求高的半导体清洗机、电镀、CMP等产品。

产品特点

  • 温度稳定性高:±0.1℃

  • 结构简单,无振动部件,没有噪音

  • 具备自动调谐功能,节省调试时间,提高效率

温控模块

型号

CL-STC003-P0403

CL-STC007-P0605

冷却容量(水)

350W

750W

加热容量(水)

700W

1800W

冷却、加热方法

帕尔贴元件(热电设备,热电模块)

操作温度范围

5~70℃

循环液

润湿材料

高纯PFA/陶瓷

循环液

硫酸铜、硫酸、盐酸、硝酸、纯水、氨水过氧化氢溶液

管尺寸

1/2" * 3/8"(可根据客户需求定制)

3/4" * 5/8"(可根据客户需求定制)

最大工作压力

0.35Mpa

设施用水

温度

10~35℃,无冷凝水

管尺寸

进/出:3/8"* 1/4"

最大工作压力

0.5Mpa

流量

5~10L/min

尺寸(L*W*H)

263*130*180mm

294*150*230mm

重量

6.9kg

9.22kg

环温

10~35℃

温度控制器

型号

CL-STC003-C1

CL-STC007-C1

通讯方式

RS485

控制方式

冷却/加热自动转换PID控制

工作温度范围

5~70℃ 无凝露

温度稳定性

±0.1℃

温度传感器

电阻温度计 Pt100Ω,3 线,A 级(用于内部控制传感器和外部传感器)。外部传感器由客户准备。

主要功能

传感器微调,偏移,外部传感器控制,设定值记忆。温度上限/下限报警,过温自动保护功能,输出关闭报警,漏液检测。

尺寸(L*W*H)

325*100*215mm

453*165*215mm

重量

5.68kg

9.36kg

环温

10~35℃

供电要求

电流

5A

10A

电压

单相 180~242VAC 50/60Hz