应用场景
通过直接冷却、加热化学液进行温度控制,适用于控温精度要求高的半导体清洗机、电镀、CMP等产品。
产品特点
温度稳定性高:±0.1℃
结构简单,无振动部件,没有噪音
具备自动调谐功能,节省调试时间,提高效率
型号
CL-STC003-P0403
CL-STC007-P0605
冷却容量(水)
350W
750W
加热容量(水)
700W
1800W
冷却、加热方法
帕尔贴元件(热电设备,热电模块)
操作温度范围
5~70℃
循环液
润湿材料
高纯PFA/陶瓷
硫酸铜、硫酸、盐酸、硝酸、纯水、氨水过氧化氢溶液
管尺寸
1/2" * 3/8"(可根据客户需求定制)
3/4" * 5/8"(可根据客户需求定制)
最大工作压力
0.35Mpa
设施用水
温度
10~35℃,无冷凝水
进/出:3/8"* 1/4"
0.5Mpa
流量
5~10L/min
尺寸(L*W*H)
263*130*180mm
294*150*230mm
重量
6.9kg
9.22kg
环温
10~35℃
CL-STC003-C1
CL-STC007-C1
通讯方式
RS485
控制方式
冷却/加热自动转换PID控制
工作温度范围
5~70℃ 无凝露
温度稳定性
±0.1℃
温度传感器
电阻温度计 Pt100Ω,3 线,A 级(用于内部控制传感器和外部传感器)。外部传感器由客户准备。
主要功能
传感器微调,偏移,外部传感器控制,设定值记忆。温度上限/下限报警,过温自动保护功能,输出关闭报警,漏液检测。
尺寸(L*W*H)
325*100*215mm
453*165*215mm
5.68kg
9.36kg
供电要求
电流
5A
10A
电压
单相 180~242VAC 50/60Hz