苏州库凌智能装备有限公司

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半导体温控专用设备
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应用场景

为用户设备反应腔提供精确温控的循环液,专为刻蚀、薄膜淀积等半导体设备提供环境温度控制。

产品特点

  • 具有波位平衡功能,保证稳定运行

  • 独立温控,双通道整合,提高空间利用率

  • 智能控制,快速响应切换温控需求,可靠性高

型号

CLCH4-4

通道

通道1

通道2

制冷方式

水-水热交换

水冷压缩机系统

制冷功率

4kW@30℃

4kW@-10℃

加热功率

1.8kW

3.9kW

温控精度

±0.2℃

±0.2℃

泵的输出

0.70Mpa

0.75Mpa

循环液流量

15L/min

30L/min

冷却水温度范围

15~25℃

15~25℃

冷却水流量

20L/min

30L/min

温控方式

专家PID 控制算法

通信方式

RS485

尺寸(L*W*H)

1203*557*1605mm