应用场景
为用户设备反应腔提供精确温控的循环液,专为刻蚀、薄膜淀积等半导体设备提供环境温度控制。
产品特点
具有波位平衡功能,保证稳定运行
独立温控,双通道整合,提高空间利用率
智能控制,快速响应切换温控需求,可靠性高
型号
CLCH4-4
通道
通道1
通道2
制冷方式
水-水热交换
水冷压缩机系统
制冷功率
4kW@30℃
4kW@-10℃
加热功率
1.8kW
3.9kW
温控精度
±0.2℃
泵的输出
0.70Mpa
0.75Mpa
循环液流量
15L/min
30L/min
冷却水温度范围
15~25℃
冷却水流量
20L/min
温控方式
专家PID 控制算法
通信方式
RS485
尺寸(L*W*H)
1203*557*1605mm